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11月15日,荷兰半导体制造设备巨头ASML宣布,将在韩国京畿道华城建设半导体集群,到2024年投资约2400亿韩元建设EUV设备培训中心和再制造中心。在运营再制造中心的过程中,决定将相关零部件的韩国供应比例从10%提高到50%。该半导体集群占地面积16000平方米,目标在2024年下半年开始运营。
再制造中心将对ASML供应的极紫外(EUV)和深紫外(DUV)设备进行维修和关键零部件的国产化。如果可以在韩国采购零件,即使设备出现问题,也可以快速修复,同时减少相关成本,无需海外运输等程序。
此外,ASML新High-NA EUV设备有望于2024年出货,首次应用于晶圆厂,单台成本3亿-3.5亿欧元;预计2026-2027年量产,长期计划为年产20台。