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用LIGA工艺制造微型传感器和微型机械及其测试技术研究_关于用LIGA工艺制造微型传感器和微型机械及其测试技术研究介绍|热点在线

来源：十分生活网时间：2023-06-22 15:46:40

【资料图】

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1、《用LIGA工艺制造微型传感器和微型机械及其测试技术研究》是依托中国科学技术大学。

2、由李川奇担任项目负责人的面上项目。

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